為了保證三坐標測量機能夠正常工作，三坐標測量機操作人員應養成良好的操作習慣，按照三坐標測量機操作步驟開關機，以下對三坐標測量機開關機步驟進行簡要介紹，僅供參考，不同廠家、不同型號三坐標測量機操作步驟會有所差別。
1、三坐標測量機開機步驟
----檢查是否有阻礙機器運動的障礙物；
----開總電源；
----開氣壓（檢查測量機的氣壓表指示,不低于0.5Mpa）（先開工作氣壓，后開總氣壓）；
----開控制柜電源（順時針旋轉，松開控制柜上的急停按鈕）；
----開啟電腦；
----啟動測量軟件；
----打開機器和手操器上的急停開關；給X，Y，Z加上使能，點擊機器回零；
----回零成功后，方可進行測量。
2、三坐標測量機關機步驟
----把測頭座A角轉到90度；
----將三軸移到左上方（接近回零的位置）；
----按下操縱盒及控制柜上的急停按鈕；
----退出測量軟件操作界面；
----關閉電腦；
----關控制柜電源（手動按下紅色急停按鈕）；
----關閉氣源（（先關總氣壓，后關工作氣壓）；
----關閉總電源。
三坐標測量機操作人員應嚴格按照廠家提供的三坐標測量機操作步驟使用設備，并按照日常保養規定對設備進行日常檢查、保養，只有這樣才能保證三坐標測量機能過正常運轉，可能減少設備損壞，才能保證測量工作正常進行。
關鍵詞：三坐標測量機